小林 中(コバヤシ アタル)KOBAYASHI Ataru

  • 所属研究科・専攻:工学研究科 電子情報系専攻(電子・物理工学) 職名:准教授
更新日:2016/01/21

プロフィール

主な取得学位

  • 博士(工学)

主な専門分野

  • 表面物性

主な経歴

取得学位

  • 博士(工学)
  • 修士(理学)

学歴

  • 大阪大学 理学研究科 無機および物理化学 修士課程
  • 大阪大学 理学部 化学

職歴

  • 1986-1988年 株式会社日立製作所日立研究所 研究員
  • 1990-1994年 ERATO/JRDC/青野原子制御表面プロジェクト 研究員
  • 1994-1996年 金沢工業大学物質応用工学科
  • 1996-2001年 大阪市立大学工学部
  • 2001-年 大阪市立大学大学院工学研究科

現在の主な研究課題

現在の専門分野

  • 表面物性
  • 量子ビーム工学

現在の研究課題

  • 課題名:スピン偏極イオン分光法の開発とイオン・固体表面間の相互作用
    研究分野:表面界面物性、工学基礎
    キーワード:スピン偏極イオン、オージェ中性化、表面スピン密度
  • 課題名:表面局所領域電子分光に関する基礎研究
    研究分野:表面界面物性、工学基礎
    キーワード:内殻電子放射

主要な研究業績

著書・論文

  • パルス計数計測法用いた単一W原子上のHe-Ne電界吸着機構の研究
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:2013年
    出版社:日本表面科学会・表面科学
    巻/号、頁:34巻7/8号
    共著者名:小林中、鉄本健太、熊谷寛
  • ピコ秒パラメトリック発信器から発生したテラヘルツ波の時間波形計測
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:2013年
    出版社:レーザー学会・レーザー研究
    巻/号、頁:41巻2号125-128頁
    共著者名:田所譲、瀧田佑馬、熊谷寛、菜嶋茂喜、小林中
  • Comparative study on THz time-domain spectroscopy using 780-nm 1.3-ps laser pulses with different detections of LT-GaAs photoconductive antenna and ZnTe electro-optic sampling
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:2013年
    出版社:Proceedings of SPIE
    巻/号、頁:8604巻8604:1-9頁
    共著者名:Y. Tadokoro, Y. Takida, H. Kumagai, S. Nashima, A. Kobayashi
  • Tunable picosecond THz-wave generation based on trapezoidal MgO:LiNbO3 crystal in novel pentagram-shaped pump-enhancement cavity
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:2013年
    出版社:Proceedings of SPIE
    巻/号、頁:8604巻8604:1-10頁
    共著者名:Y. Takida, Y. Tadokoro, H. Kumagai, S. Nashima, A. Kobayashi
  • Atomic layer epitaxy of ZnO and TiO2 thin films on c-plane sapphire substrate for novel oxide soft x-ray mirrors
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:2010年
    出版社:Proceedings of SPIE
    巻/号、頁:7603巻7603R:1-10頁
    共著者名:M. Murata, Y. Tanaka, H. Kumagai, T. Shinagawa, A. Kobayashi
  • Nuclear spin polarization of 3He atoms with a frequency doubled Ti:sapphire laser toward nuclear magnetic resonance of porous media
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:2010年
    出版社:Proceedings of SPIE
    巻/号、頁:7586巻7586L:1-10頁
    共著者名:Y. Tabata, H. Yamada, S. Maeda, H. Morioka, H. Kumagai, A. Kobayashi
  • Fabrication of Al2O3/TiO2 multilayer mirrors for “water-window” attosecond pulses
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:2010年
    出版社:Proceedings of SPIE
    巻/号、頁:7586巻7586J:1-9頁
    共著者名:Y. Tanaka, M. Murata, H. Kumagai, A. Kobayashi
  • Generation of quasi-continuous wave 389-nm choherent light by frequency doubling of a Ti:sapphire laser for nuclear spin polarization of 3He atoms
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:2010年
    出版社:Proceedings of SPIE
    巻/号、頁:7582巻7582N:1-9頁
    共著者名:S. Maeda, H. Morioka, T. Ohira, H. Kumagai, A. Kobayashi
  • Development of novel oxide multilayer mirrors at “water-window” wavelengths by atomic layer deposition / atomic layer epitaxy
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:2009年
    出版社:Transactions of the Materials Research Society of Japan
    巻/号、頁:34巻605-608頁
    共著者名:H. Kumagai, Y. Tanaka, Y. Masuda, T. Shinagawa, A. Kobayashi
  • Atomic layer epitaxy of TiO2/ZnO multilayers for water-window attosecond optics
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:2009年
    出版社:Proceedings of SPIE
    巻/号、頁:7201巻72010Z:1-9頁
    共著者名:Y. Tanaka, Y. Masuda, H. Kumagai, T. Shinagawa, A. Kobayashi
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  • パルス計数計測法用いた単一W原子上のHe-Ne電界吸着機構の研究
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:2013年
    出版社:日本表面科学会・表面科学
    巻/号、頁:34巻7/8号
    共著者名:小林中、鉄本健太、熊谷寛
  • ピコ秒パラメトリック発信器から発生したテラヘルツ波の時間波形計測
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:2013年
    出版社:レーザー学会・レーザー研究
    巻/号、頁:41巻2号125-128頁
    共著者名:田所譲、瀧田佑馬、熊谷寛、菜嶋茂喜、小林中
  • Comparative study on THz time-domain spectroscopy using 780-nm 1.3-ps laser pulses with different detections of LT-GaAs photoconductive antenna and ZnTe electro-optic sampling
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:2013年
    出版社:Proceedings of SPIE
    巻/号、頁:8604巻8604:1-9頁
    共著者名:Y. Tadokoro, Y. Takida, H. Kumagai, S. Nashima, A. Kobayashi
  • Tunable picosecond THz-wave generation based on trapezoidal MgO:LiNbO3 crystal in novel pentagram-shaped pump-enhancement cavity
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:2013年
    出版社:Proceedings of SPIE
    巻/号、頁:8604巻8604:1-10頁
    共著者名:Y. Takida, Y. Tadokoro, H. Kumagai, S. Nashima, A. Kobayashi
  • Atomic layer epitaxy of ZnO and TiO2 thin films on c-plane sapphire substrate for novel oxide soft x-ray mirrors
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:2010年
    出版社:Proceedings of SPIE
    巻/号、頁:7603巻7603R:1-10頁
    共著者名:M. Murata, Y. Tanaka, H. Kumagai, T. Shinagawa, A. Kobayashi
  • Nuclear spin polarization of 3He atoms with a frequency doubled Ti:sapphire laser toward nuclear magnetic resonance of porous media
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:2010年
    出版社:Proceedings of SPIE
    巻/号、頁:7586巻7586L:1-10頁
    共著者名:Y. Tabata, H. Yamada, S. Maeda, H. Morioka, H. Kumagai, A. Kobayashi
  • Fabrication of Al2O3/TiO2 multilayer mirrors for “water-window” attosecond pulses
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:2010年
    出版社:Proceedings of SPIE
    巻/号、頁:7586巻7586J:1-9頁
    共著者名:Y. Tanaka, M. Murata, H. Kumagai, A. Kobayashi
  • Generation of quasi-continuous wave 389-nm choherent light by frequency doubling of a Ti:sapphire laser for nuclear spin polarization of 3He atoms
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:2010年
    出版社:Proceedings of SPIE
    巻/号、頁:7582巻7582N:1-9頁
    共著者名:S. Maeda, H. Morioka, T. Ohira, H. Kumagai, A. Kobayashi
  • Development of novel oxide multilayer mirrors at “water-window” wavelengths by atomic layer deposition / atomic layer epitaxy
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:2009年
    出版社:Transactions of the Materials Research Society of Japan
    巻/号、頁:34巻605-608頁
    共著者名:H. Kumagai, Y. Tanaka, Y. Masuda, T. Shinagawa, A. Kobayashi
  • Atomic layer epitaxy of TiO2/ZnO multilayers for water-window attosecond optics
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:2009年
    出版社:Proceedings of SPIE
    巻/号、頁:7201巻72010Z:1-9頁
    共著者名:Y. Tanaka, Y. Masuda, H. Kumagai, T. Shinagawa, A. Kobayashi
  • Frequency doubling of a single-frequency 778-nm Ti:Sapphire laser for nuclear spin polarization of 3He atoms
    種別:論文
    単著・共著別:その他
    出版年月:2009年
    出版社:Proceedings of SPIE
    巻/号、頁:7197巻71970W:1-8頁
    共著者名:S. Maeda, Y. Tabata, H. Morioka, H. Kumagai, A. Kobayashi
  • Nanosecond 389-nm coherent light source with injection-seeding for nuclear spin polarization of 3He atoms
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:2009年
    出版社:Proceedings of SPIE
    巻/号、頁:7193巻71930X:1-9頁
    共著者名:Y. Aoki, Y. Shiomi, T. Yamamoto, H. Kumagai, A. Kobayashi
  • Single-frequency 389-nm coherent light by efficient wavelength conversion for Magnetic Resonance Imaging of Porous materials with nuclear spin polarization of 3He atoms
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:2009年
    出版社:Journal of Laser Micro/Nano Engineering
    巻/号、頁:4巻224-226頁
    共著者名:S. Maeda, Y. Tabata, H. Morioka, H. Kumagai, A. Kobayashi
  • Conversion efficiency of 56% in frequency doubling of single-frequency coherent light from Ti:sapphire laser at 778 nm in high-finesse resonant cavity containing BiBO crystal
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:2009年
    出版社:Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B
    巻/号、頁:267巻3471-3474頁
    共著者名:S. Maeda, H. Morioka, H. Kumagai, A. Kobayashi
  • Fine spectroscopy of semiconductor atoms for controlling nuclear spins
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:2008年
    出版社:Proceedings of SPIE・6905・69050F:p.1〜p.8
    巻/号、頁:6905巻69050F:1-8頁
    共著者名:Y. Shiomi, T. Yamamoto, Y. Aoki, H. Kumagai, A. Kobayahi
  • Titanium oxide/nickel oxide multilayer mirror for attosecond soft x-rays
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:2008年
    出版社:Proceedings of SPIE
    巻/号、頁:6890巻68900T:1-11頁
    共著者名:Y. Masuda, T. Fujimoto, H. Kumagai, A. Kobayashi
  • Single-frequency 389-nm CW coherent light source for optical pumping of metastable 3He atoms
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:2008年
    出版社:Proceedings of SPIE
    巻/号、頁:6875巻68751B:1-8頁
    共著者名:S. Maeda, Y. Tabata, H. Kumagai, A. Kobayashi
  • Frequency stabilization of nanosecond deep-ultrviolet coherent light source with injection seeding
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:2008年
    出版社:Proceedings of SPIE
    巻/号、頁:6871巻68710F:1-7頁
    共著者名:T. Yamamoto, Y. Shiomi, H. Kumagai, A. Kobayashi
  • Single-frequency nanosecond-pulsed deep-ultraviolet coherent light source at 252 nm for manipulating silicon atoms resonantly
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:2008年
    出版社:Optics Communications
    巻/号、頁:281巻3824-3826頁
    共著者名:Y. Shiomi, T. Yamamoto, H. Kumagai, A. Kobayashi
  • Optogalvanic spectroscopy using 389 nm coherent light source accurately tuned to resonance frequency of 23S→33P of 3He
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:2008年
    出版社:Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B
    巻/号、頁:266巻2623-2626頁
    共著者名:S. Maeda, K. Kyutoku, H. Kumagai, A. Kobayashi
  • Atomic layer deposition of atomic mirror for silicon
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:2007年
    出版社:Proceedings of SPIE
    巻/号、頁:6871巻68710F:1-7頁
    共著者名:T. Fujimoto, Y. Shiomi, H. Kumagai, A. Kobayashi
  • Frequency doubling of ps Ti:sapphire laser with PPMGLN waveguide for spin polarization of 3He
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:2007年
    出版社:Proceedings of SPIE
    巻/号、頁:6455巻645506:1-7頁
    共著者名:K. Kyutoku, H. Kumagai, A. Kobayashi
  • Single-frequency stabilization of frequency-tripled nanosecond Ti:sapphire laser injection-seeded for silicon atom optics
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:2007年
    出版社:Proceedings of SPIE
    巻/号、頁:6451巻64510U:1-10頁
    共著者名:Y. Shiomi, T. Yamamoto, H. Kumagai, A. Kobayashi
  • Development of a single-frequency nanosecond pulsed deep-UV coherent light source for manipulating silicon atoms
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:2007年
    出版社:Proceedings CLEO/QELS
    巻/号、頁:CTuD2巻1-2頁
    共著者名:Y. Shiomi, T. Yamamoto, H. Kumagai, A. Kobayashi
  • Development of an injection-seeded nanosecond pulsed Deep-UV coherent light source for controlling silicon atomic waves
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:2006年
    出版社:Proceedings CLEO/QELS
    巻/号、頁:CFJ2巻1-2頁
    共著者名:Y. Shiomi, K. Kyutoku, H. Kumagai, A. Kobayashi
  • Characterization of frequency-tripled nanosecond pulsed Ti:sapphire laser injection-seeded by a frequency-scanning cw Ti:sapphire laser by use of optogalvanic spectroscopy of silicon atoms
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:2006年
    出版社:Optics Letters
    巻/号、頁:31巻3037-3039頁
    共著者名:Y. Shiomi, K. Kyutoku, H. Kumagai, A. Kobayashi
  • スピン偏極したヘリウムイオンを創る
    種別:解説
    単著・共著別:単著
    出版年月:2005年
    出版社:大阪市立大学工作技術センター・Fabrica
    巻/号、頁:17巻19-30頁
  • Single- and double-photoionization cross-sections of nitrogen dioxide (NO2) and ionic fragmentation of NO2+ and NO22+
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:2004年
    出版社:Chemical Physics
    巻/号、頁:302巻31-41頁
    共著者名:T. Masuoka, A. Kobayashi
  • Dissociative Single and Double Photoionization of CF4 and Ionic Fragmenta-tion of CF4+ and CF42+ from 23 to 120 eV
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:2004年
    出版社:Chemical Physics
    巻/号、頁:298巻107-117頁
    共著者名:A. Kobayashi, T. Masuoka
  • Molecular and Dissociative Photoioni-zation of CS2 from 20 to 120 eV
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:2003年
    出版社:International Journal of Mass Spectrometry
    巻/号、頁:226巻317-327頁
    共著者名:T. Masuoka, A. Okaji, A. Kobayashi
  • Fragmentation of CF42+ dication from Threshold to 120 eV
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:2002年
    出版社:International Journal of Mass Spectrometry
    巻/号、頁:218巻11-18頁
    共著者名:T. Masuoka, A. Kobayashi
  • Ionisation Cross Sections of Rare-Gas Atoms (Ne, Ar, Kr and Xe) by Electron Impact from Threshold to 1 keV
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:2002年
    出版社:Journal of Physics B: At. Mol. Opt. Phys.
    巻/号、頁:35巻2087-2103頁
    共著者名:A. Kobayashi, G. Fujiki, A. Okaji, T. Masuoka
  • Angular Distribution of Ionic Fragments in the Dissociation of SO22+
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:2000年
    出版社:The Journal of Chemical Physics
    巻/号、頁:113巻6634-6639頁
    共著者名:A. Kobayashi, T. Masuoka
  • Dissociative Photoionization of CF4 from 23 to 120eV
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:2000年
    出版社:The Journal of Chemical Physics
    巻/号、頁:113巻1559-1565頁
    共著者名:A. Kobayashi, T. Masuoka
  • Time-Resolved Atomic-Scale Modification of a Silicon with a Scanning Tunneling Microscope
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:1994年
    出版社:Journal of Vacuum Science and Technology
    巻/号、頁:B12巻1901-1905頁
    共著者名:F. Grey, D. H. Huang, A. Kobayashi, E. J. Snyder, H. Uchida, M. Aono
  • Spatially Anisotropic Atom Extraction around Defects on Si(001) using a STM
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:1994年
    出版社:Physical Review B
    巻/号、頁:49巻8067-8070頁
    共著者名:A. Kobayashi, F. Grey, E. Snyder, M. Aono
  • 原子単位での加工とその機構
    種別:解説
    単著・共著別:共著
    出版年月:1993年
    出版社:精密工学会・精密工学会誌
    巻/号、頁:59巻1号25-29頁
    共著者名:青野正和、内田裕久、D. H. Huang、小林中、F. Gray
  • Field Ion Evaporation from Tip and Sample in the STM for Atomic-Scale Surface Modification
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:1993年
    出版社:Proceedings of the NATO Advanced Research Work-shop on Atomic and Nanometer-Scale Modification of Materials: Foundamentals and Applications
    巻/号、頁:Series E・239巻37-47頁
    共著者名:A. Kobayashi, F. Grey, H. Uchida, D. H. Huang, M. Aono
  • Probing Local Binding Energy Differences on the Si(001)2×1 Surface by Field-Induced Atom Extraction with the STM
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:1993年
    出版社:Surface Science
    巻/号、頁:291巻L739-L744頁
    共著者名:A. Kobayashi, F. Grey, E. Snyder, M. Aono
  • Detection of Single Atom Extraction and Deposition Events during Nanolithographic Processing of Silicon with a Scanning Tunneling Microscope
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:1993年
    出版社:Proceedings of Japan Academy
    巻/号、頁:Series B・69巻101-106頁
    共著者名:F. Grey, D. H. Huang, A. Kobayashi, E. J. Snyder, H. Uchida, M. Aono
  • Formation of Nanometer-Scale Grooves in Silicon with a Scanning Tunneling Microscope
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:1993年
    出版社:Science
    巻/号、頁:259巻1724-1726頁
    共著者名:A. Kobayashi, F. Grey, R. S. Williams M. Aono
  • Tip-Sample Interaction in the Scanning Tunneling Microscope for Atomic-Scale Structure Fabrication
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:1993年
    出版社:Japanese Journal of Applied Physics
    巻/号、頁:Part 1・32B巻1470-1477頁
    共著者名:M. Aono, A. Kobayashi, F. Grey, H. Uchida, D. H. Huang
  • Nanolithography and Atomic Modification on Silicon Surfaces by STM
    種別:著書
    単著・共著別:共著
    出版年月:1993年
    出版社:SPIE Optical Engineering Press・Technology of Proximal Probe Lithography
    巻/号、頁:1巻74-99頁
    共著者名:F. Grey, A. Kobayashi, H. Uchida, D. H. Huang, M. Aono
  • 走査トンネル顕微鏡における探針とSi表面との相互作用およびその原子操作への応用
    種別:解説
    単著・共著別:共著
    出版年月:1992年
    出版社:応用物理学会・応用物理
    巻/号、頁:61巻12号1264-1268頁
    共著者名:青野正和、小林中、G. Francois、内田裕久、D. H. Huang、吉信淳
  • Field-Induced Modification of Si(001) surface with the Scanning Tunneling Microscope
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:1992年
    出版社:Proceedings of the International Symposium on Intelligent Design and Synthesis of Electronic Material Systems
    巻/号、頁:IDSEM '92巻175-176頁
    共著者名:A. Kobayashi, F. Gray, M. Aono
  • STMにおける試料と探針からの電界蒸発
    種別:解説
    単著・共著別:共著
    出版年月:1991年
    出版社:化学工業社・化学工業
    巻/号、頁:42巻12号944-951頁
    共著者名:小林中、G. Francois、青野正和
  • アトムクラフト
    種別:解説
    単著・共著別:共著
    出版年月:1991年
    出版社:日本結晶学会
    巻/号、頁:33巻3号158-168頁
    共著者名:青野正和、小林中、内田裕久、根城均、野村英一
  • Laser-Induced Chemical Vapor Deposition of GaN
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:1990年
    出版社:Material Research Society Symposium Proceedings
    巻/号、頁:158巻91-95頁
    共著者名:A. Kobayashi, T. Asai, S. Kawai, P. J. Chong
  • Nuclear Magnetic and Quadrupole Resonance Studies of Phase Transitions in Crystalline (NH4)2SbF5 and (ND4)2SbF5
    種別:論文
    単著・共著別:共著
    出版年月:1988年
    出版社:Zeitschrift für Naturforschung
    巻/号、頁:43a巻233-238頁
    共著者名:A. Kobayashi, Y. Yoshioka, N. Nakamura, H. Chihara

学会活動

所属学会

  • 学会名:日本物理学会
  • 学会名:応用物理学会
  • 学会名:日本表面科学会

教育活動

担当教育の概要

  • 担当科目
    応用物理学基礎、応用物理学実験、物理数学、卒業研究

担当講義

  • 授業科目名:電子、イオンビーム光学特論
    講義区分:大学院
  • 授業科目名:統計力学演習
    講義区分:専門
  • 授業科目名:応用物理学基礎
    講義区分:専門
  • 授業科目名:応用物理学実験
    講義区分:専門
  • 授業科目名:卒業研究
    講義区分:専門

産学官連携可能情報

専門分野

  • 表面物性

所属研究部門

  • 工学研究科 電子情報系専攻(電子・物理工学)

交流可能研究テーマ

  • 薄膜の作成および微細加工技術
    研究テーマの分野:材料工学

現在の研究課題

  • 課題名:スピン偏極イオン分光法の開発とイオン・固体表面間の相互作用
    研究分野:表面界面物性、工学基礎
    キーワード:スピン偏極イオン、オージェ中性化、表面スピン密度
  • 課題名:表面局所領域電子分光に関する基礎研究
    研究分野:表面界面物性、工学基礎
    キーワード:内殻電子放射

電子メールアドレス

  • kobayasi@a-phys.eng.osaka-cu.ac.jp

交流研究テーマ情報

交流可能研究テーマ

  • 薄膜の作成および微細加工技術
    研究テーマの分野:材料工学
    研究テーマの概要:リソグラフィー技術を用いて、ナノスケールでの人工的な構造を構築し、これまでにない新奇な物性を示す材料を開発する。また、走査プローブ顕微鏡を用いた原子操作により、原子単位で動作する素子の開発も試みる。
    研究内容関連画像URL:http://www.almaden.ibm.com/vis/stm/
    交流可能な時期・期間:2001年から可能
    交流の種別:共同研究
    知識・技術の活用分野・応用方法等:リソグラフィーの基幹技術である材料と真空に関わる技術全般の分野
    波及効果:コンピュータを利用した制御および情報処理システムの高機能化
    キーワード:薄膜成長、微細加工、原子操作
    共同研究の希望:産学連携等、民間を含む他機関との共同研究を希望する

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